进行论文表格查重时，首先应选择专业的查重工具，如Turnitin、iThenticate等，上传论文表格，系统会自动比对文本相似度。其次，需要注意表格格式、数据内容等方面的查重，避免遗漏。另外，可以采用手动比对的方式，逐行逐列对比表格内容，确保数据准确性。最后，查重完成后应及时修改和标注引用来源，保证学术诚信。

在论文表格查重过程中，可以利用Excel等工具对表格数据进行筛查和比对，查找相似处并进行调整。此外，可以关注表格中的特殊数据或公式，避免被误判为抄袭。同时，注意在查重时保护个人隐私信息，避免泄露。另外，建议定期更新查重工具版本，以确保查重结果的准确性和可靠性。