论文表格查重软件的性能评估指标包括准确率、召回率、F1值、查准率、查全率等。准确率是指查重软件正确识别重复内容的能力，召回率是指软件发现所有重复内容的能力，F1值综合考虑准确率和召回率。查准率是指查重结果中真正重复内容的比例，查全率是指查重结果中发现的真正重复内容的比例。这些指标可以帮助评估软件的查重效果和性能。

此外，还有一些衡量查重软件性能的指标，如处理速度、支持文件类型、用户界面友好程度等。处理速度影响用户体验，支持文件类型决定了软件的适用范围，用户界面友好程度影响用户操作便利性。综合考虑这些指标可以更全面地评估论文表格查重软件的性能，选择适合自己需求的软件。